SEM ステップアップムービー集


この度は、「SEM ステップアップムービー集」をご覧いただきありがとうございます。
ご存じの通り、SEMには「非点収差」「加速電圧」「スポット径」といった光学顕微鏡にはない調整項目があります。

SEMにあまり詳しくない方にとっては、ちょっとわかりにくい項目ですが、これらの調整をマスターすれば、一段ときれいな観察像が入手できます。

この「SEM ステップアップムービー集」では、それぞれの調整項目の仕組みから、調整の仕方や設定による画像の違いまで動画で解説しています。
この「ムービー集」が皆様のSEM観察に少しでもお役に立てれば幸いです。
※「SEM ステップアップムービー集」をご覧いただくには、Windows Media Player 9 以上が必要です。
 ご使用のPCにインストールされていない場合は、下記のWEBサイトから入手してインストールしてください。
 http://www.microsoft.com/japan/windows/windowsmedia/download/
※「SEM ステップアップムービー集」では、「キーエンス 3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡 VE-8800」の操作手順をもとに、
 調整方法をご紹介しております。
 異なる機種をお使いの場合は、お使いの機種の該当機能に置き換えてご覧下さい。


目次

・非点収差

・加速電圧

・スポット径

 

・非点収差

非点収差とは、観察に使用する電子ビームの断面形状がきれいな円形にならない現象をいいます。
ビームが楕円形をしているため、丸い構造を観察しても楕円状に流れたようになり、鮮明に観察できません。
SEM像の解像度を落とす最も大きな要因です。

非点収差のムービーを見る

※全てのムービーを連続して再生します。
 個別にご覧になりたい場合は下記タイトルをクリックして下さい。

1. 非点とは

2. 非点のズレの見方

3. 非点の調整方法


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・加速電圧

加速電圧は、電子ビームを試料にぶつける強さを表します。
強くぶつければ、大きな構造が鮮明に観察できるので、高倍率の観察に適しています。
その反面、微細な構造が消えてしまう問題や、非導電性試料はチャージアップするという問題もあります。
試料に応じて使い分けると、より良い観察像が入手できます。

加速電圧のムービーを見る

※全てのムービーを連続して再生します。
 個別にご覧になりたい場合は下記タイトルをクリックして下さい。

1. 加速電圧とは

2. 表面観察と分解能

3. チャージアップ


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・スポット径

スポット径は、その名の通り電子ビームの太さの調整です。
ビームが細ければ、より小さいものの観察に有利ですが、細くなるに従って観察に使用する信号も弱くなり、観察像にノイズが多くなります。
観察目的に応じて調整すると、より良い観察像が入手できます。

スポット径のムービーを見る

※全てのムービーを連続して再生します。
 個別にご覧になりたい場合は下記タイトルをクリックして下さい。

1. スポット径とは

2. 分解能と画質


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