山形大学地域共同研究センターに設置されている日本電子(株)製、電界放射形電子顕微鏡(Field Emission-Scanning Electron Microscope,FE-SEM,JSM-6330F)の基本的な使用操作法について ストリーミング映像配信により初めてFE-SEMを取り扱う人にとってもわかりやすく解説しました。下記の6項目の操作法をクリックして下さい。Windows Media Playerで閲覧出来ます。
FE-SEM(JSM-6330F)の主な仕様
倍率 :10倍〜50万倍 作動距離:WD=3〜41mm 
試料の大きさ: φ12.5 or φ32(最大φ100)
付属機能:反射電子検出装置
       エネルギ分散型X線分析装置(Energy Sispersion Spectroscopy,EDS)
       分析可能元素B(ボロン)〜U(ウラン)
       結晶方位像解析装置(EBSD) 

FE-SEM(JSM-6330F)の外観

 試料のホルダへの取り付け方 (  WMP 1:24 )
  試料台の観察箇所が試料ホルダーの高さと一致するように試料を取り付け、精密ドライバーでホルダーに確実に固定する。
 本体への試料ホルダの挿入法 (  WMP 5:03 )
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本体試料室部分のマイクロメーターでステージ位置を確認する。
X:25mm  Y:35mm  WD:39mm Zfine:0  傾斜:0 
ディスプレイ上で試料回転台(ESR)の窓を表示させInitialSetのボタンをクリックし、試料台を初期位置に戻す。
 高圧印加および軸合わせ(Gun Alingment) (  WMP 4:39 )
 

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GUN VALVE CLOSEボタンが押し込まれた状態でランプが点灯している事を確認する。
ディスプレイメニューバーの加速電圧を0.50kVにする。
ディスプレイメニューバーのHTが青色に点灯している事を確認した上でHTをクリックし、加速電圧をONにする。表示が青から緑に変化する。
HT右側のエミッション電流が12μAまであがるのを待つ。
GUN VALVE CLOSEボタンを押して押し込まれていない状態にする。ボタンのランプが消灯した事を確認する。

 非点収差の調整法 (  WMP 3:11 )
 像観察(オペレーションパネルの操作法) (  WMP 4:17 )
 

QUICK VIEW: スキャンを高速にする。2段階切り換え 試料ステージを移動して観測する場合等に使用
FINE VIEW:  スキャンを低速にする。2段階切り換え 写真撮影の時等に使用
RDC IMAGE: スキャンする領域を縮小するときに使用
ACB:      コントラストとブライトネスをオートで調整してくれる
STIG:     非点収差を補正するときに使用する

 試料の取りだし法 (  WMP 5:40 )

 
動画と音声の再生には、Windows Media Player(無料)が必要です。右のボタン画像をクリックし、Windows用、 Macintosh用のプレイヤーを手順に従 ってインストールしてください。
   
 

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電界放射形電子顕微鏡(JSM-6330F)の使用法 (奥山 澄雄先生まとめ)

走査型電子顕微鏡(SEM)で分かること (菊地 新一 技術専門職員まとめ)

   
 
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